极速体育app杂志
发表于:2022年08月02日  分类:安防  添加评论   

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图11双层结构在温度应力下的受力示意图温变环境下的失效还包括MEMS惯性器件的性能温漂。

本刊作为、《中国期刊全文数据库》统计源期刊,已加入万方数据资源系统数字化期刊群(全文上网)和中国学术期刊光盘版,其作者著作权使用费与本刊稿酬一次性给付。

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MEMS器件在热循环应力下,可能会引起材料的疲劳损伤,而疲劳损伤的积聚将导致器件失效。

MEMS惯性器件中的微粒可由多种途径引入或产生,包括制造过程中的表面清理、金属沉积、刻蚀、退火、以及封装过程引入的微粒,还包括MEMS器件材料的晶粒生长等。

当器件直接暴露在空气中时,一些封装气密性不好的MEMS器件可能会发生水汽渗入并附着在硅结构表面上,在电场作用下会发生化学反应,造成电化学腐蚀。

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智能微系统的核心要素:架构架构决定智能微系统中硬件、能量、信息的状态、分布、交互、流程、逻辑等。

其主管部门为工业和信息化部,主办单位为中国电子科技集团公司第四十九研究所。

它成立于1982年,在国内外出版。

图2梳齿与基底接触引起短路失效图3微粒引起的短路失效对基于表面微加工工艺的MEMS惯性器件,其表面积和体积之比相对较大,当器件内部的两个部件表面距离较近时容易产生粘附失效。

作者联系方式附在论文后面。

**3.9参考文献**1)主要责任者姓名(无论中外)均采用姓在前,名在后的著录格式,姓全大写。

正文1)一般文章不超过7000字(包括图、表、参考文献),综述的文章不超过9000字(包括图、表、参考文献。

外国作者姓名遵照国外习惯。

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